华海清科:芯嵛半导体已完成部分离子注入设备的研发工作,相关产品已进入某集成电路大生产线验证

华海清科近期接受投资者调研时称,公司参股了芯嵛半导体(上海)有限公司,其已完成部分离子注入设备的研发工作,相关产品已进入某集成电路大生产线验证,目前验证较为顺利。

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