中国银河表示，半导体设备行业季度营收表现良好，主要得益于先进逻辑和存储芯片需求的持续增长，成为行业发展的核心驱动力。国产化进程加速，有望进一步提升国内半导体设备企业的市场份额和竞争力。在全球半导体产业链重构的背景下，国内企业凭借技术进步和政策支持，正逐步缩小与国际领先水平的差距，市场前景广阔。随着下游应用领域的不断拓展，半导体设备行业有望继续保持稳健增长态势。

从资金净流入方面来看，科创板人工智能ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得2918.47万元净流入，合计“吸金”6405.01万元，日均净流入达1601.25万元。绝对收益方面，截至2025年2月5日，科创板人工智能ETF自成立以来，日盈利百分比为60.00%。回撤方面，截至2025年2月5日，科创板人工智能ETF成立以来最大回撤2.22%，相对基准回撤3.32%。费率方面，科创板人工智能ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。跟踪精度方面，截至2025年2月5日，科创板人工智能ETF今年以来跟踪误差为0.917%，在可比基金中跟踪精度最高。

科创板人工智能ETF紧密跟踪上证科创板人工智能指数，上证科创板人工智能指数从科创板市场中选取30只市值较大的为人工智能提供基础资源、技术以及应用支持的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板市场代表性人工智能产业上市公司证券的整体表现。

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