三星晶圆代工厂将采用三井化学公司的EUV光罩护膜

2月26日消息,行业消息人士称,由于芯片制造商希望提高超精细加工的生产率,三星电子(Samsung Electronics)的代工业务将从三井化学(Mitsui Chemicals)购买价值数十亿韩元的EUV(极紫外光刻)光罩护膜。经过最终测试后,三星将在其韩国华城园区S3工厂的3纳米晶圆代工生产线上采用EUV光罩护膜进行量产。(首尔经济日报)

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