激光直写光刻机设备商影速集成拟科创板IPO ，普利特子公司持股1.3%

据《科创板日报》记者获悉，江苏影速集成电路装备股份有限公司（下称“影速集成”）拟赴科创板IPO，中金公司任其辅导机构。影速集成主要生产激光直写的光刻机设备，主要应用在PCB、 FPC 、HDI和集成电路掩膜板，上市公司普利特的控股子公司持有影速集成1.2677%的股权，中国科学院微电子研究所持股6.45%。