三星将于2023年量产光罩护膜，加速EUV工艺DRAM生产

《科创板日报》20日消息，熟悉三星内部计划的人士透露，三星电子将于2023年底开始量产光罩护膜（Pellicle），此举将加速其采用EUV工艺的DRAM生产进程。据THE ELEC报道，知情人士指出，三星极有可能使用ASML合作伙伴三井化学制造的光罩护膜。ASML在2019年宣布同意将EUV光罩护膜组装技术授权予日商三井化学，在未来持续与合作伙伴共同开发下一代光罩护膜。